電子專用設備產業是重大裝備制造業的重要分支，是知識、技術、資本高度密集型產業，處于電子信息產業鏈^高端，其基礎性強、關聯度高、技術難度大、進入門檻高，決定著一個國家或地區電子信息產品制造業的整體水平，也是電子信息產業綜合實力的重要標志。  
　　前言  
　　電子專用設備產業是重大裝備制造業的重要分支，是知識、技術、資本高度密集型產業，處于電子信息產業鏈^高端，其基礎性強、關聯度高、技術難度大、進入門檻高，決定著一個國家或地區電子信息產品制造業的整體水平，也是電子信息產業綜合實力的重要標志。  
　　電子儀器產業是電子信息產業重要的基礎性產業，具有高投入、多品種、小批量、更新換代快的特點，在國民經濟總產值中的占比不高，但對經濟發展的“杠桿”和“倍增”作用卻^巨大。  
　　為推動電子專用設備儀器產業持續發展，縮小與國際同類產品的差距，根據《工業轉型升級“十二五”規劃》、《信息產業“十二五”發展規劃》和《電子信息制造業“十二五”發展規劃》，制定本規劃。  
　　本規劃涉及電子專用設備和電子儀器兩大行業，是“十二五”期間我國電子專用設備儀器產業發展的指導性文件和加強行業管理、組織實施重大工程的依據。  
　　一、“十一五”產業發展回顧  
　　產業規模持續穩定增長  
　　我國電子專用設備儀器產業在“十一五”期間保持了較高的增速，雖然期間受國際金融危機影響，2008年下半年至2009年上半年呈現出下滑態勢，但在國內多項政策激勵下，隨著世界經濟逐步回暖，電子專用設備儀器業企穩回升，實現了生產、銷售和經濟效益總體平穩增長的態勢。  
　　據工業和信息化部運行監測協調局統計，“十一五”期間我國電子專用設備銷售收入年均增長率為20%，從2005年的783億元增長到超過1987億元，電子專用設備工業協會統計的行業骨干企業年均增長率為25%，從52.7億元增長到160.6億元。工業和信息化部運行監測協調局統計數據表明，“十一五”期間我國電子儀器規模以上企業年增長19%，到“十一五”末實現銷售收入940億元。五年間，電子專用設備儀器產品中太陽能光伏設備以及元器件參數測量儀器、超低頻測量儀器等保持了較大幅度的增長。  
　　重點產業領域取得較大成績  
　　“十一五”期間，國家科技重大專項圍繞光刻機、刻蝕機、65納米制造工藝、先進封裝設備等重點任務，集中資源重點投入，取得很大進展。北方微電子及上海中微公司2種12英寸65納米刻蝕機產品樣機已進入大生產線進行考核驗證；上海微電子公司封裝光刻機已進入長電科技考核測試；七星華創12英寸氧化爐已進入大線測試；中科信12英寸離子注入機已完成3臺樣機組裝，正在進行測試。多種12英寸關鍵設備陸續進入大生產線考核驗證，標志著我國集成電路設備產業已初步形成產業化發展態勢。  
　　“十一五”期間新興產業的發展，為電子專用設備產業帶來了良好的發展契機。尤其是我國晶硅太陽能電池設備年均增長率達到58%，基本具備了從晶體硅到太陽能電池片的成套生產線設備供應能力，為我國光伏產業的發展提供了有力保障。晶硅太陽能設備爆發式增長，為電子專用設備產業實現“十一五”規劃目標提供了有力支撐。